すべて製品一覧
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4インチウェハ蒸着外観4インチウェハ蒸着外観
ウェハの薄化- BG
シリコンウエハー(Si) を50um (2mil)まで薄くする
GaN on Si を 3 milまで
SiC を 6 milまで対応可能
TTV ≤ 10µm Within wafer
金属蒸発- BM
多層堆積をサポートする金属材料:Ti, Ni, Ag, Sn, Cu, Al,Auなと
金属の厚さは最大35um対応
均一性: ±10% Within wafer -
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6インチウェハ蒸着外観6インチウェハ蒸着外観
ウェハの薄化- BG
シリコンウエハー(Si) を50um (2mil)まで薄くする
GaN on Si を 3 milまで
SiC を 6 milまで対応可能
TTV ≤ 10µm Within wafer
金属蒸発- BM
多層堆積をサポートする金属材料:Ti, Ni, Ag, Sn, Cu, Al,Auなと
金属の厚さは最大35um対応
均一性: ±10% Within wafer -
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8インチウェハ蒸着外観8インチウェハ蒸着外観
ウェハの薄化- BG
シリコンウエハー(Si) を50um (2mil)まで薄くする
GaN on Si を 3 milまで
SiC を 6 milまで対応可能
TTV ≤ 10µm Within wafer
金属蒸発- BM
多層堆積をサポートする金属材料:Ti, Ni, Ag, Sn, Cu, Al,Auなと
金属の厚さは最大35um対応
均一性: ±10% Within wafer -
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12インチウェハ蒸着外観12インチウェハ蒸着外観
ウェハの薄化- BG
シリコンウエハー(Si) を50um (2mil)まで薄くする
GaN on Si を 3 milまで
SiC を 6 milまで対応可能
TTV ≤ 10µm Within wafer
金属蒸発- BM
多層堆積をサポートする金属材料:Ti, Ni, Ag, Sn, Cu, Al,Auなと
金属の厚さは最大35um対応
均一性: ±10% Within wafer